ProX 飞纳电子显微镜是一种利用电子束来观察和分析微观世界的高精度仪器，它突破了光学显微镜的分辨率极限，核心原理基于电子光学，与光学显微镜使用可见光不同，以电子束作为光源。电子具有波粒二象性，其波长比可见光短得多，这使得它能够实现更高的分辨率。
电子透镜是ProX 飞纳电子显微镜的主要功能之一，它用于对电子束进行聚焦和成像。电子透镜利用磁场或电场对电子产生作用，使电子束发生折射，从而实现类似光学透镜对光线的聚焦效果。通过多级电子透镜的组合，可以对电子束进行精细的控制，将样品的细节清晰地呈现出来。
检定是通过标准样品或计量工具对ProX 飞纳电子显微镜的性能参数进行检测和验证，判断其是否符合技术要求。常见检定项目包括：
1.放大倍数误差与重复性
-标准样品：使用已知尺寸的标准样品(如金球、光栅刻线等)，通过测量图像中的标尺与实际尺寸的比值，计算放大倍数误差。
-重复性检测：多次测量同一标准样品，验证放大倍数的稳定性。
2.图像线性失真度
-XY方向线性检测：拍摄带有规则几何图形(如网格)的标准样品，分析图像是否出现拉伸、扭曲等变形。
3.分辨率验证
-透射电镜(TEM)：使用晶格条纹或已知晶面间距的样品(如石墨)，观察是否能清晰分辨原子尺度结构。
-扫描电镜(SEM)：通过高对比度样品(如金颗粒)检测二次电子像的分辨率。
4.电子束对准与稳定性
-检查电子束是否垂直入射样品表面，避免因倾斜导致图像畸变。
