复纳科学仪器(上海)有限公司
技术文章
您现在所在位置:首页 > 技术中心 > 了解什么是机械研磨,什么是离子研磨。

了解什么是机械研磨,什么是离子研磨。

 发布时间:2021-09-23 点击量:988
  如果你没有从扫描电镜图片中获得你想要的信息,在扫描电镜功能一切正常的前提下,极有可能是样品制备不够成功导致的。如果不使用离子研磨仪,就无法用扫描电镜观察到锡球焊接处的缺陷。
  使用离子研磨仪后,将有助于得到材料表面更丰富更准确的形貌信息。对于一般的内部结构观察,使用传统的机械研磨即可以达到需要的分析效果,但是对于某些精度要求较高或是机械研磨外部应力会产生影响的情况下,使用高精度、无应力的、无接触式的研磨——离子研磨就很有必要。电子行业通常要求精度较高的结构分析,例如细微失效缺陷分析;或是对处理应力有较高要求的缺陷分析,例如树脂与玻纤布的结合,铜箔厚度的仲裁测量等;这类情况下传统的机械研磨就无法再达到预期的观察效果。
  什么是机械研磨?
  机械研磨作为常用的粗样制备手段,通常的机械研磨和抛光会在表面上形成 1 nm 至 100 nm 厚度的非晶层,称为 Beilby 层。Beilby 层会掩盖住大部分的样品真实信息,对扫描电镜表征产生很大的影响。特别对于常见的金刚石抛光技术,因为它会使表面的晶粒变形,从而影响表征结果(例如金相样品)。离子研磨技术则克服了上述所有困难,从而提供了高分辨率表征所需的表面光洁度。
  什么是离子研磨?
  离子研磨实现的过程中,首先通过一个高压电极来对氩气进行电离,从而形成氩离子;继而再通过一个高压电场来对氩离子实施加速,经过带有偏转电场的离子枪头,使其形成离子束对需要研磨的样品进行轰击,将样品表面物质以原子的形态清除出去,以使得样品达到无应力研磨的效果。如图 1 所示。在整个过程中会调整一些参数,例如离子能量,离子束入射角,以优化样品制备时间和表面质量。
  我们的离子研磨抛光仪是通过物理科学技术来加强样品表面特性。使用惰性气体中具有代表性的氩气作为气源,通过加速电压使其电离并撞击样品表面。在控制的范围内,通过这种动量转换的方式,氩气离子去撞击样品表面从而达到无应力损伤的SEM观察样品。

传真:

邮箱:info@phenom-china.com

地址:上海市闵行区虹桥镇申滨路 88 号上海虹桥丽宝广场 T5,705 室

版权所有 © 2018 复纳科学仪器(上海)有限公司   备案号:沪ICP备12015467号-2  管理登陆  技术支持:化工仪器网  GoogleSitemap

联系人
在线客服
扫码关注我们
用心服务 成就你我
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站