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台式扫描电子显微镜的应用领域

 更新时间:2025-04-09 点击量:115
  台式扫描电子显微镜包括电子发射系统、电磁透镜系统、信号探测系统、真空系统和计算机控制系统。电子发射系统用于产生高能电子束;电磁透镜系统对电子束进行聚焦和偏转,以控制其在样品表面的扫描路径;信号探测系统负责检测从样品表面激发出的二次电子、背散射电子等信号,并将其转换为电信号;真空系统为电子束的传输和样品表面的分析提供必要的真空环境;计算机控制系统则对整个仪器的操作进行控制和数据处理。
 
  台式扫描电子显微镜的应用领域:
 
  -材料科学:可用于观察材料的微观结构、晶粒尺寸、孔隙分布等,帮助研究人员了解材料的性能和特性,为新材料的研发提供依据。
 
  -生物学和医学:在生物医学领域,可用于观察细胞、细菌、病毒等生物样本的形态和结构,以及生物组织的内部结构,对于疾病诊断、药物研发等方面具有重要意义。
 
  -电子工业:用于检查电子元器件的表面缺陷、焊接质量、芯片内部的电路结构等,确保电子产品的质量和可靠性。
 
  -地质学:可用于观察岩石、矿物的微观结构和组成,帮助地质学家了解地球的内部结构和演化过程。
台式扫描电子显微镜
 
  台式扫描电子显微镜的测定步骤:
 
  1.样品制备:
 
  -将分散好的样品滴于铜片上,干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上(对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上)。
 
  -对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层,通常为蒸金。将样品座置于蒸金室中,合上盖子,打开通气阀门,对蒸金室进行抽真空。选择好适当的蒸金时间,达到真空度定好时间后加电压并开始计时,保持电流值,时间到后关闭电压,关闭仪器。取出样品时,需先关闭通气阀门以防液体倒流。
 
  2.电镜准备:
 
  -打开电源并等待设备预热,直到设备达到稳定的工作温度。
 
  -启动控制软件,如Igor Pro或其他SEM软件。控制软件是操作扫描电镜的关键,它能够控制电子束的扫描、调整成像参数、捕获图像和数据等。
 
  -检查系统状态,确保所有零部件正常工作,包括检查真空泵、电子枪、探测器等。
 
  3.样品加载与观察:
 
  -点击Vent放气后缓慢打开样品室,将样品用导电胶固定在载物台上。为了能在电镜下快速准确地找到样品的像,可提前对样品进行标记。
 
  -调整样品的位置,长按鼠标中键即显示指向箭头,向上拖动箭头升高样品台至10mm处,点击屏幕右侧coordinates将Z轴锁死。
 
  -调整粗/微调旋钮进行调焦,直到观察到的图像清晰为止。
 
  -调整载物台位置,找到要观察的视野,进行分析。
 
  4.图像采集与分析:
 
  -根据需要调整放大倍数、加速电压等参数,以获得清晰的图像。
 
  -使用控制软件捕获图像和数据,并进行必要的分析和处理。

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