台式扫描电子显微镜利用高能电子束与样品表面相互作用,从而获得样品表面形貌、成分和结构信息。由电子枪发射的电子束经过栅极静电聚焦后成为点光源,然后在加速电压作用下,经两三个透镜组成的电子光学系统,电子束被会聚成几十埃大小并聚焦到样品表面。该入射电子束在物镜上方扫描线圈的驱动下,在试样表面的微小区域进行有序的光栅扫描。高能电子束射入试样后,在其表面激发出二次电子、背散射电子、X射线和俄歇电子等多种信息,这些信息被相应的探测器收集并转换为电信号,经过放大处理后在显示器上显示出样品表面的图像。
台式扫描电子显微镜的性能特点:
-小巧便携:相比传统的落地式扫描电子显微镜,体积小巧,可安放在实验台面上操作,便于在不同实验室或现场使用。
-分辨率高:具有较高的分辨率,能够清晰地观察到样品表面的微观结构和细节。
-操作简单:通常配备有人性化的操作界面和自动化功能,使得操作更加简单方便,即使是非专业人员也能快速上手。
台式扫描电子显微镜的使用注意事项:
1.真空包装:在给试品检验前,一定要进行真空包装妥善处理。台式扫描电镜是靠离子束扫描仪物品表面来显像的,气体的出现会使离子束变形,影响扫描仪实际效果。
2.样品处理:确保样品表面清洁、干燥且无油污,以免影响观察效果。对于非导电样品,需要进行喷金或喷碳处理以增加其导电性。
3.参数设置:根据样品的性质和观察需求,合理设置加速电压、工作距离等参数。过高的加速电压可能会损伤样品,而过低的电压则可能导致图像质量不佳。
4.避免碰撞:在调整样品位置或更换样品时,要小心操作,避免碰撞镜头和样品座。
5.定期维护:定期对电镜进行清洁和维护,包括清理灰尘、检查零部件磨损情况等,以确保其长期稳定运行。
6.安全操作:在使用电镜时,要遵守相关的安全规定,如佩戴防护眼镜、避免触摸高压部件等。