复纳科学仪器(上海)有限公司
新闻动态
您现在所在位置:首页 > 新闻动态 > 高分辨率台式扫描电镜和投射电镜有什么区别?

高分辨率台式扫描电镜和投射电镜有什么区别?

 发布时间:2021-07-09 点击量:666
  高分辨率台式扫描电镜和透射电镜有哪些相似点和不同点呢,今天带大家了解一下。
 
  一、扫描电镜和透射电镜设备的不同点:
 
  高分辨率台式扫描电镜使用—组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子。
 
  透射电镜是使用透射电子,收集透过样品的电子。因此,透射电镜提供了样品的内部结构,如晶体结构,形态和应力状态信息,而扫描电镜则提供了样品表面及其组成的信息。
 
  而且,这两种设备的差别之一是它们可以达到的最佳空间分辨率;扫描电镜的分辨率被限制在~0.5nm,而随着最近在球差校正透射电镜中的发展,已经报道了其空间分辨率甚至小于50pm。
 
  二、高分辨率台式扫描电镜和透射电镜操作上的差异
 
  这两种电子显微镜系统在操作方式上也有所不同。扫描电镜通常使用15kV以上的加速电压,而透射电镜可以将其设置在60-300kV的范围内。
 
  与扫描电镜相比,透射电镜提供的放大倍数也相当高:透射电镜可以将样品放大5000万倍以上,而对于扫描电镜来说,限制在1-2百万倍之间。
 
  然而,扫描电镜可以实现的最大视场(FOV)远大于透射电镜,用户可以只对样品的一小部分进行成像。同样,扫描电镜系统的景深也远高于透射电镜系统。
 
  三、扫描电镜和透射电镜对样品的要求
 
  1、扫描电镜
 
  扫描电镜制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度极小的薄层来说,造成的误差更大。
 
  2、透射电镜
 
  由于透射电镜得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的透射电镜样品一般只能有10~100nm的厚度,这给透射电镜制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。透射电镜制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄的观测范围,这在需要精确定位分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。

传真:

邮箱:info@phenom-china.com

地址:上海市闵行区虹桥镇申滨路 88 号上海虹桥丽宝广场 T5,705 室

版权所有 © 2018 复纳科学仪器(上海)有限公司   备案号:沪ICP备12015467号-2  管理登陆  技术支持:化工仪器网  GoogleSitemap

联系人
在线客服
扫码关注我们
用心服务 成就你我
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站