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台式电镜能谱一体机的工作模式简介

 发布时间:2021-05-24 点击量:426
   台式电镜能谱一体机的工作模式是什么样的?下面给大家讲解一下。首先是电子枪发射的电子束在加速电压(通常为200V~30kV)的作用下,穿过由两个或三个电磁透镜组成的电子光学系统,会聚成纳米级的束斑聚焦在样品表面上。与显示扫描同步的电子光学管中的扫描线圈控制电子束,并在样品表面的特定小区域中逐点逐行扫描。由于高能电子束与样品的相互作用,样品会发出各种信号(例如二次电子,反向散射电子,X射线,俄歇电子,阴极发光,吸收电子等)。
 
  台式电镜能谱一体机的信号由相应的检测器接收,并在经过放大器和调制解调器处理后,在显示器的相应位置显示不同的亮度,以形成反映样品二维外观的图像或其他图像符合我们人类的观察习惯。可以理解的对比机制图像。
 
  台式电镜能谱一体机的图像显示器像素尺寸大于电子束光斑尺寸(0.1毫米/1纳米=100,000倍),并且显示器的像素尺寸小于或等于人类的常规分辨率从而使显示屏上的图像等效于样品上相应的微小区域。通过调节扫描线圈的偏转磁场,可以控制样品表面电子束扫描区域的大小。从理论上讲,扫描区域可以无限小,但是可以显示的图像的有效放大倍率取决于扫描电子显微镜的分辨率。早期的模拟图像输出使用高分辨率的摄像管,该摄像头通过单镜头反光照相机逐点直接记录在胶片上,然后对照片进行处理。但是,随着电子技术和计算机技术的发展,扫描电子显微镜的成像现已完全实现为数字图像。
 
  当电子枪产生的高能电子束轰击样品表面时,入射电子以及样品的原子核和核外电子会产生弹性和非弹性散射。弹性散射是碰撞系统中电子能量和动量守恒的散射。这是一个散射过程,其中入射电子与样品中的原子相互作用,并且仅在能量基本不变的情况下才改变其轨迹。轨道变化角从0°到180°不等,平均变化角约为0。1弧度。非弹性散射是其中碰撞系统中电子的能量或动量不守恒的散射。它是入射电子与样品原子相互作用后能量损失的散射。电子动量的损失是由多种机制(二次电子的产生,柔韧性)引起的。辐射,内壳电离,等离子体和光子激发)。对于非弹性散射,电子轨道变化角通常小于0。01弧度。通常,固体样品中入射电子的弹性和非弹性散射过程必须重复多次,并且散射范围逐渐扩大。
 
  在此过程中,高能电子束激发各种反映样品的形态,结构和组成的信号,例如二次电子(SE),背向散射电子(BSE),透射电子(TE),俄歇电子,特征X射线,连续X射线(bre致辐射),阴极发光(CL),吸收电子(AE),电子束感应电流等。其中,二次电子,反向散射电子,俄歇电子和透射电子是电子信号,特征X射线,连续X射线和阴极发光是电磁波信号,吸收的电子和电子束感应电流是电流信号。我们称各种信号与原始电子束信号之间的比率为某个信号的产量。

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