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扫描电镜的两只“眼睛” —— 背散射模式和二次电子模式

 发布时间:2020/7/21 点击量:2186
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详细介绍:

飞纳电镜为客户配备了二次电子成像模式,使得对样品立体外观形貌的观察又上了一个台阶。飞纳电镜拥有了两只观测样品的“眼睛”——背散射探测器(BSD)和二次电子探测器(SED),不管您有什么观测需求,这两只“眼睛”都可以满足您绝大部分的要求。

 

二次电子模式

 

飞纳台式扫描电镜内部可配备二次电子探头,收集从样品中被轰击出的二次电子。这些二次电子主要来源于距样品 1~10nm 的表面,由于入射深度小,入射电子的作用区域与入射束的束斑尺寸差别不大,所以相同条件下,二次电子的分辨率是优于背散射图像的。而且,由于二次电子对样品倾斜角度更敏感,二次电子图像可以呈现更好的立体形貌,如下图所示。

 

 

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