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数学为什么重要?用公式为您解释扫描电镜低电压观察不导电样品的优势

 发布时间:2020/6/23 点击量:676
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什么是荷电效应?

 

扫描电子显微镜主要用于样品表面微观形貌观察,但在观察样品过程中经常由于荷电效应使得图像异常变亮、畸变,甚至出现图像模糊的情况,严重影响成像质量。

 

图1固体绝缘材料的电子发射特性曲线。横坐标为入射电子能量,纵坐标为试样的电子产率。荷电现象可以用基尔霍夫电流定律表示,即在任一瞬时流向某一结点的电流之和等于由节点流出的电流之和。可用以下公式表达:

 

 

其中 Ip 是入射电子的电流,δIb 是背散射电子和二次电子的电流之和,Isc 是样品接地电流,Q 为时间 t 内的放电电荷。

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