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扫描电镜常见搭档——喷金仪相关问题详解

 发布时间:2020/5/29 点击量:797
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详细介绍:

喷金仪是什么?

 

在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,并在样品上沉积,终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察效果。

 

平时使用时,常见的靶材是金靶。正是这个原因,离子溅射仪也俗称“喷金仪”。

 

然而,为了获得更细小的晶粒尺寸、更薄的连续镀层,有时候也会使用其他靶材(比如铬)。这些靶材对真空度的要求更高,需要额外配置分子泵方可达到要求。

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