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How to Make SEM Free to Achieve

 发布时间:2019/7/30 点击量:765
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详细介绍:

20 世纪的人们在dian话亭中言语的画面还历历在目,转眼到了21 世纪,我们就已经用上了手机,不仅体积小巧,信号质量更好,而且功能愈加丰富。那么在这几十年的时间里,扫描电镜有没有变得更小巧、分辨率更好呢?

 

答案当然是肯定的。首先,我们来简单回顾一下扫描电镜的发展历史:

 

1953 年

英国剑桥大学的麦哲马伦等人研制成功di一台实用型扫描电镜,分辨率达到 50 nm

 

1965 年

英国剑桥科学仪器公司研制成功di一台商用扫描电镜 Mark I,其分辨率为 10 nm,从此揭开了扫描电镜研发、制造和应用的开端

 

1975 年

美国将微型计算机引入到扫描电镜中,用于程序协调控制加速电压,放大倍数和磁透镜焦距的关系,二次电子图像分辨率可达 6 nm

 

2005 年

美国发布di一台具有超高分辨率的带有低真空的场发射电镜,其分辨率为 1.0 nm

 

2010 年

冷场扫描电镜的上市将分辨率提升到了 0.4 nm

 

由此脉络可以清晰地看处,随着科技的发展,扫描电镜的分辨率在逐渐降低并趋近于电子束波长(0.01-0.001 nm),其好处不言而喻——能够通过电镜看清楚更微小的物体,探索更微观的世界。

 

世界di一台扫描电镜

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