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如何通过扫描电镜能谱分析,给出可信的成分分析结果?

 发布时间:2019/6/12 点击量:997
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一、能谱定量不准确的原因

 

能谱(EDS)结合扫描电镜使用,能进行材料微区元素种类与含量的分析。其工作原理是:各种元素具有自己的X 射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量E,能谱仪就是利用不同元素X 射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

 

能谱定量分析的准确性与样品的制样过程,样品的导电性,元素的含量以及元素的原子序数有关。因此,在定量分析的过程中既有一些原理上的误差(数据库及标准),我们无法消除,也有一些人为因素产生的误差(操作方法),这些因素都会导致能谱定量不准确。

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