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扫描电镜分析样品表面的深度是多少

 发布时间:2019/6/4 点击量:972
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详细介绍:

近,有飞纳电镜用户询问关于电子束分析样品时可以穿透样品的深度的问题,这里小编将为大家详细介绍一下。

 

扫描电镜是利用聚焦电子束进行微区样品表面形貌和成分分析,电子从发射源(灯丝)经光路系统终到达样品表面,电子束直径可到 10 nm 以下,场发射电镜的聚集电子束直径会更小。

 

聚焦电子束到达样品表面会激发出多种物理信号,包括二次电子(SE),背散射电子(BSE),俄歇电子(AE)、特征X 射线(X-ray)、透射电子(TE)等。

 

· 二次电子 信号主要来自样品表面,其深度范围 10 nm ,成像具有较高分辨率,能够很好的反映样品形貌特征。


· 背散射电子 是入射电子被样品原子核反弹回来的部分电子,电子能量较高,信号深度范围可到 2 μm。


· X 射线 可以从样品较深的位置出射,其深度范围可到 5 μm。

 

图1 不同样品信号深度

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