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束流强度对扫描电镜成像质量的影响

 发布时间:2019/5/30 点击量:1092
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详细介绍:

通过之前的 “如何通过选择加速电压来提高扫描电镜的图像质量” 与 “样品导电性对扫描电镜成像的影响” 这两篇文章,大家都了解了加速电压与样品导电性对图像的成像质量有非常大的影响。

 

其实,除了加速电压与样品的导电性,电镜的束流强度、图像亮度对比度、图像像散等都会影响扫描电镜图像的成像质量。今天,这篇文章将围绕如何选择束流强度,提高样品的成像质量。

 

扫描电镜的发射束流强度对图像的信噪比和分辨率(resolution)有着决定性的影响。大束流可以提高图像的信噪比,但是分辨率较低。小束流则正好相反,具有较高的分辨率,但信噪比较差。

 

在这里,小编需要给大家简单科普一下分辨率与信噪比的含义,有利于大家理解后面的内容:

 

分辨率是扫描电镜主要性能指标,对成像而言,指能分辨两点之间的小距离(如图1 所示)。通常来说,分辨率越高,样品的边缘会越锋利。

 

图1  分辨率定义(两点间距离)​

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