在扫描电镜应用中，低真空技术可以实现对非导电样品的直接观察，无需喷镀贵金属，以免造成样品表面细节被掩盖、尺寸发生改变，成分信息减弱或消失等情况。

低真空技术是利用入射电子束电离样品仓内空气分子产生正离子和自由电子（如图1 所示），正离子在样品表面荷电所形成的负电场的吸引下与负电荷产生中和，从而消除样品表面荷电。

由于样品表面荷电是因为入射电子束不能通过非导电样品导走而产生的，因此样品表面荷电会随着入射电子束对样品的扫描而不断产生，同时入射电子束也会持续不断电离空气分子，从而产生正离子。当二者数量达到动态平衡时，样品表面荷电现象消失。

如图2 所示，利用扫描电镜无喷镀直接观察蛋壳膜，0.1Pa 真空度下荷电严重，60Pa真空度下荷电消失。

图2 利用低真空原理消除蛋壳膜表面荷电