背散射电子成像简介

扫描电镜成像主要是利用样品表面的微区特征，如形貌、原子序数、晶体结构或位向等差异，在电子束作用下产生不同强度的物理信号，使荧光屏上不同的区域呈现出不同的亮度，从而获得具有一定衬度的图像。

当电子束和试样表层发生作用时，会产生大量的背散射电子，这些背散射电子衬度包含三种信息：

1. 样品表层形貌信息，凸起、尖锐和倾斜面的背散射电子多，探头接收到的信号强，图像较亮，即形貌衬度(topography contrast)；

2. 原子序数信息，原子序数越大，背散射电子越多，探头接收到的信号越强，反映在图像上就越亮，即原子序数衬度成像(Z-contrast)；

3. 晶体取向信息，背散射电子的强度取决于入射电子束与晶面的相对取向。晶体取向和入射电子束方向的改变均可导致BSE强度的改变(Electron channeling contrast，简称ECC，由此得到的衬度像简称ECCI)。

这篇文章主要讲ECCI 的原理及应用。