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背散射电子的应用——通道衬度成像

 发布时间:2019/4/19 点击量:2011
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背散射电子成像简介

 

扫描电镜成像主要是利用样品表面的微区特征,如形貌、原子序数、晶体结构或位向等差异,在电子束作用下产生不同强度的物理信号,使荧光屏上不同的区域呈现出不同的亮度,从而获得具有一定衬度的图像。

 

当电子束和试样表层发生作用时,会产生大量的背散射电子,这些背散射电子衬度包含三种信息:

 

1. 样品表层形貌信息,凸起、尖锐和倾斜面的背散射电子多,探头接收到的信号强,图像较亮,即形貌衬度(topography contrast);


2. 原子序数信息,原子序数越大,背散射电子越多,探头接收到的信号越强,反映在图像上就越亮,即原子序数衬度成像(Z-contrast);


3. 晶体取向信息,背散射电子的强度取决于入射电子束与晶面的相对取向。晶体取向和入射电子束方向的改变均可导致BSE强度的改变(Electron channeling contrast,简称ECC,由此得到的衬度像简称ECCI)。

 

这篇文章主要讲ECCI 的原理及应用。

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