在2018 年之前，为何没有看到使用肖特基场发射电子源（FEG）的台式扫描电子显微镜（SEM）呢？为何在台式扫描电镜（SEM）中使用场发射电子源（FEG）是十分的呢?

当台式扫描电镜遇见场发射电子源

台式扫描电镜（SEM）是一个相对年轻且发展迅速的产品。其实许多应用领域并不需要使用低于1 nm 的超高分辨率扫描电镜（SEM），10 nm 的分辨率是绰绰有余的。然而，由于材料特征点尺寸越来越小和观测需求的增加，台式扫描电镜（SEM）用户有时希望设备能够具有更好的分辨率，并且保持测样效率不变、操作依然简便。

飞纳台式场发射扫描电镜的诞生

在设计新的扫描电镜（SEM）时会出现诸多挑战。通常，为了获得更好的性能，新设备的规格需要更高的要求。另一个挑战是新系统的出现，不会影响到飞纳台式扫描电镜（SEM）的操作简便性。可以让没有扫描电镜（SEM）操作经验的实验室管理员能够在短时间内熟练操作电镜。那么，当飞纳电镜从CeB6电子源升级到FEG 电子源时，将面临的挑战是什么？

首先，需要分析扫描电镜（SEM）电子源之间的差异。