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当台式电镜遇见肖特基场发射电子源

 发布时间:2019/3/7 点击量:752
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在2018 年之前,为何没有看到使用肖特基场发射电子源(FEG)的台式扫描电子显微镜(SEM)呢?为何在台式扫描电镜(SEM)中使用场发射电子源(FEG)是十分的呢?

 

当台式扫描电镜遇见场发射电子源

 

台式扫描电镜(SEM)是一个相对年轻且发展迅速的产品。其实许多应用领域并不需要使用低于1 nm 的超高分辨率扫描电镜(SEM),10 nm 的分辨率是绰绰有余的。然而,由于材料特征点尺寸越来越小和观测需求的增加,台式扫描电镜(SEM)用户有时希望设备能够具有更好的分辨率,并且保持测样效率不变、操作依然简便。

 

飞纳台式场发射扫描电镜的诞生

 

在设计新的扫描电镜(SEM)时会出现诸多挑战。通常,为了获得更好的性能,新设备的规格需要更高的要求。另一个挑战是新系统的出现,不会影响到飞纳台式扫描电镜(SEM)的操作简便性。可以让没有扫描电镜(SEM)操作经验的实验室管理员能够在短时间内熟练操作电镜。那么,当飞纳电镜从CeB6电子源升级到FEG 电子源时,将面临的挑战是什么?

 

首先,需要分析扫描电镜(SEM)电子源之间的差异。

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