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背散射电子图像:如何提高其质量

 发布时间:2018/11/5 点击量:815
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背散射电子(Backscattered electron -BSE)图像会体现有关样品材料衬度的信息。利用背散射电子探测器(BSD)获取样品图像的质量会受到很多因素的影响,如样品的电导率,形貌,样品成分,BSD探测器类型以及电子器件等。

 

在本篇博客中,将使用同一套成像系统、完全相同的探测器对同一个样品进行控制变量实验,分析影响背散射电子图像质量的因素,这些因素包括采样帧数、束流强度,以及工作距离、样品仓真空度等。

 

扫描电镜的背散射电子成像

 

背散射电子一种电子枪中电子与样品表面原子的原子核发生弹性散射进而被收集到的高能量反射电子。

 

首先,背散射电子(BSE)图像的质量当然取决于探测器的类型及其电路设计,还取决于样品的类型以及导电性的好坏。但是如果讨论使用一台探头型号固定的扫描电镜观察特定样品(这意味着探头、镜筒、样品导电率不能改变),那么还有哪些因素会决定背散射图像的质量呢?

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