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飞纳电镜操作过程自动化:背散射电子和二次电子混合像

 发布时间:2018/9/26 点击量:1077
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当电子束与样品相互作用时,会产生背散射电子(BSE)和二次电子(SE)。通过检发射信号可获得样品表面的成分衬度像(背散射电子)和表面形态像(二次电子)。背散射电子和二次电子是如何形成的,为什么它们携带特定的样品信息?此外,能否在一幅图像中同时获得成分和形态信息?

 

当入射电子束击中样品表面时,会产生二次电子和背散射电子,检测并收集这些信号从而形成图像。二次电子是由样品的核外电子的非弹性散射产生的,如图1左图所示。二次电子(SE)是低能量电子(通常小于50eV),容易被吸收。这就是为什么只有从极薄的样品表面中产生的二次电子才能被探测器收集的原因。

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