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电磁透镜和像差:哪些因素会影响扫描电镜的分辨率?

 发布时间:2018/9/25 点击量:1458
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详细介绍:

分辨率是扫描电镜(SEM)重要的参数之一。分辨率越好,可以看到的特征尺寸越小。分辨率的好坏往往取决于聚焦在样品上的电子束斑的直径(即束斑尺寸)。

 

在非理想电子光学系统中,束斑尺寸会因像差而变大。什么是电子光学系统中的像差?它们如何影响束斑尺寸?在这篇博客中,将回答这些问题并进行深入的分析。

 

一个非常简单的电子光学系统的例子

 

在之前的博客中,谈到了镜筒和透镜组。通常,镜筒由一组透镜组成,这些透镜具有约束电子束并将电子聚焦于样品表面的功能。样品上的束斑尺寸决定了电子显微镜的分辨率。但是,束斑尺寸是如何定义的呢?看看简单的电子光学系统,如图 1 所示。

 

图1:简单的电子光学系统由一个位于顶部的电子光源及聚焦电子束到样品表面的透镜组成。

 

在这个系统中,我们知道电子源与透镜之间的距离(物距)和透镜与样品之间的距离(像距)。像距通常也称为工作距离,它随样品高度的变化而变化。像距与物距的比值给出了电子光学系统的放大倍数。

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