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扫描电镜工作原理:背散射电子的检测

 发布时间:2018/7/12 点击量:1734
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背散射电子(BSE)是由入射电子束与原子核的弹性散射或非弹性散射所产生的高能电子。背散射电子(BSE)的产率,即出射的背散射电子(BSE)数与入射电子数之比,取决于样品平均原子序数:平均原子序数越高,或元素越重,衬度就越亮。在飞纳台式扫描电镜中,背散射电子是通过放置在样品上方的四分割半导体探测器检测到的。在这篇博客中,将解释什么是半导体探测器,以及如何在扫描电子显微镜下检测背散射电子。

 

背散射电子的发射

 

当入射电子击中样品表面时,入射电子与原子的原子核相互作用,并偏离其轨迹,如图1所示。

 

图1:入射电子与原子核相互作用后散射的示意图

 

如果条件合适,入射电子可以被散射回来,并脱离样品表面,保持其高能量。一般来说,较重的元素,因为它们的原子核较大,可以比较轻的元素更强烈地偏转入射电子。因此,在扫描电镜图像中,像银这样的重元素(原子序数为47)与原子序数为14的轻元素(如硅)相比显得更加明亮,因为更多的背散射电子从样品表面发射出来。

 

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