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开发脚本的指导方针:图像获取

 发布时间:2018/7/4 点击量:1022
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详细介绍:

脚本是帮助扫描电镜(SEM)操作员日常工作的小型软件工具。它可以用来自动完成重复性的任务,快速扫描大面积区域,或者在测量时获得更高的重复性。要做到这一点,必须开发一个软件脚本。在这篇博客中,我们将指导如何开发一个小脚本。

 

扫描电镜工作流程

 

通常,扫描电镜(SEM)的工作流程包括以下步骤:

 

1. 样品制备和装载。
2. 图像采集
3. 分析
4. 评估
5. 报告
6. 结论

 

工作流程如图1所示。步骤1到4可以使用脚本自动执行。在我们之前的博客中已经讲解了样品制备技术,以及溅射涂层如何帮助扫描电镜(SEM)成像。

 

图像采集,步骤1,主要是自我描述性的,并且涉及到获得高质量图像所*的所有步骤。首先将样品移到显微镜下的正确位置,并设置图像参数。通过获取和保存图像完成任务。

 

图像分析涉及图像的处理,从图像中获取物理量。例如:

 

1. 设置背散射(BSD)图像阈值,以量化图像中的成分差异。
2. 分割图像以找到粒子
3. 测量工作距离,以检测样品的高度

 

图1:扫描电镜工作流程

 

在评估步骤中,对物理量进行评价和分类。可以通过以下方式完成:

 

1. 根据粒子的形态学计数粒子
2. 确定样品的覆盖范围
3. 计算样品上的缺陷数量

 

在报告步骤中,报告自动包含所有相关信息,以作出明智的决定。该报告可能是:

 

1. 获得的扫描电镜图像的有用信息
2. 直方图显示了样品信息,例如覆盖率或大小分布
3. 完整的PDF报告,包括表格、图表和图片

 

如果脚本是有效的,那么所有这些步骤都可以通过单击一个按钮来完成,并且在获取和处理过程完成后,会出现一个报告。操作员只需检查报告并决定合适的操作。

 

在这篇博客中,我们将关注脚本开发的步,并解释如何地获取图像,以及如何使用合适的参数。在以后的博客中,我们将详细探讨其他步骤。

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