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旨在显著提升清洁度

 发布时间:2018/1/5 点击量:1021
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详细介绍:

使用的飞纳电镜,荷兰VDL ETG公司正在探索清洁度提升的极限

 

在高科技行业中,组件的发展趋势是变得越来越干净,例如对于真空系统的组件。客户不能忍受哪怕是很小的灰尘颗粒。然而,为了去除它们,生产商必须首先发现它们。用的飞纳台式扫描电镜,可以探测到万分之一毫米的粒子。荷兰VDL ETG公司为了清洁晶元而购买了飞纳电镜。在常规正常生产中,也被证明是非常有用的。

 

研究清洁的方法

 

“如果客户的目标是追求越来越干净,那么我们就必须知道正在和他们讨论的是什么。”“知识就是力量”,Geert Jakobs说到。他是VDL ETG技术开发公司的总。他的公司,包括TNO和ASM Europe,正在一起参与一个欧洲研究项目,以研究开发新的晶圆清洁工艺。“我们需要更多地了解清洁产品的制造,为此,这个项目是一个不错的平台。”它是关于从组件表面去除微小的100纳米(一纳米是百万分之一毫米)的尘埃颗粒。

 

我们在这个项目中的目标是研究公司必须使用的生产方法。这些粒子非常小,以至于不能再用传统的技术看到它们(比如近紫外光直接检查)。因此,我们需要寻找一种方法来检测这些粒子,并确定它们的来源。

 

荷兰产品

 

VDL ETG购买了来自荷兰埃因霍温的飞纳台式扫描电镜。飞纳台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX 不仅可以用来成像,还可以用其内置的能谱仪EDS进行化学元素分析。

 

技术Luuk Berkelaar说,正是飞纳电镜的技术指标和实际性能赢得了VDL ETG的青睐。“分辨率和放大倍数是对我们来说zui重要的参数。此外,利用元素分析可以确定粉尘颗粒的化学成分,从而可以追溯其根本原因。”此外,VDL ETG还购买了于测量和分类粉尘颗粒的颗粒统计分析测量系统,以及表面粗糙度的测定软件。

 

VDL ETG采购飞纳电镜的主要原因是什么呢。飞纳Phenom是一个荷兰产品确实很重要,但不是直接决定因素;竞争对手产品也同样被关注。特别重要的是的指标参数——以及另一种支持荷兰产品的观点——距离Phenom-World总部更近。

 

Berkelaar说到:“Phenom-World公司非常友好和开放,我们直接与了解产品技术的人员面对面交流”。来自VDL ETG的工作人员对电镜系统的工作和软件使用提供了非常好的反馈:还有什么扫描电镜可以稍微不同甚至更好?”

 

飞纳Phenom的优点是比它的竞争对手更紧凑,所以它可以被放置在一个标准的超净台里面(为了防止环境里的污染物进入。

传真:

邮箱:info@phenom-china.com

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