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加速电压在扫描电镜中的作用

 发布时间:2017/12/27 点击量:1261
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在进行扫描电镜(SEM)分析时,为了获得感兴趣区域*的图像效果,必须考虑一些重要的参数。其中一个很重要的参数就是加速电压,它是加在电子枪的阴极和阳极之间,用来加速电子产生电子束的。加速电压的选择与样品的导电性、放大倍数及图片质量等因素有关。一般来说,加速电压越高,图像的分辨率越高。

 

在zui近几年,扫描电镜(SEM)厂商已经开始致力提高低电压成像的分辨率。低电压成像技术主要应用于生命科学领域,特别是在获得诺贝尔奖的冷冻电镜技术问世之后。这篇博客将集中讨论加速电压对分析图像的影响。

 

加速电压决定作用区域的大小

 

加速电压是电子能量的象征,它决定了电子束与样品之间的相互区大小。一般情况下,加速电压越高,电子束在样品表面穿透越深,作用区也就越大。

 

这意味着电子将在样品中更深入地传播,并在不同区域中产生信号。样品的化学成分也会对作用区的大小产生影响:轻元素的核外电子层数较少,电子能量较低,这限制了其对入射电子的影响。因此与重元素的样品相比,电子束对于轻元素样品的穿透更深。

 

对输出信号进行分析时,可以得到不同的结果。在台式扫描电镜中,通常检测到三种信号:背散射电子(BSE)、二次电子(SE)和X射线。

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