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为什么扫描电镜(SEM)的束斑直径那么重要

 发布时间:2017/12/19 点击量:1645
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近年来,随着科技的发展和材料尺寸的不断缩小,扫描电镜(SEM)已经成为一种非常有价值的表征方法。SEM作为一种通用的工具,方便用户可以对各种各样的材料进行多种不同类型的分析。为获得更好的结果,用户应该仔细设定SEM参数。其中一个设置是束斑直径,即照射在样品上的电子束直径。在这篇博客中,阐述了如何在SEM中调整束斑直径,以及如何在高分辨率成像和大束流之间实现平衡,以获得*结果。

 

如何在SEM下调整束斑直径

 

描述SEM中电子束性质的四个主要参数如图1所示:

 

  1. 使电子在电镜腔室中运动的加速电压
  2. 电子束的会聚角
  3. 轰击样品的电子束流大小
  4. 到达样品表面的zui终束斑直径。

 

图1:SEM中电子束的四个主要参数:加速电压、会聚角、电子束流和束斑直径

 

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