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扫描电镜之EDX能谱分析的介绍

 发布时间:2017/12/5 点击量:1888
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详细介绍:

扫描电子显微镜(SEM)利用电子束从纳米尺度的样品中获取信息。所检测到的主要信号类型是背散射电子(BSE)和二次电子(SE),它们在高倍率下生成样品的灰度图像。然而,还有许多其他的电子与样品表面物质相互作用的产物——这些信号可以提供关于样品的额外信息。在这篇博客中,我们将阐述扫描电镜中的能谱(EDX)是如何工作的。

 

电子 —— 与样品表面的相互作用

 

入射电子与样品表面的物质相互作用产生了各种各样的信号,这些信号携带了关于样品的不同信息 (图1)。例如,背散射电子产生的图像与原子序数的差异有关; 二次电子给出了形貌细节信息,阴极发光可以提供关于电子结构和材料化学成分的信息; 透射电子可以描述样品的内部结构和晶体学。在扫描电镜中广泛使用的另一种信号是X射线。

 

图1:电子物质相互作用中产生不同信号的例证。

 

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