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扫描电镜(SEM)是如何检测样品信息的

 发布时间:2017/11/30 点击量:1527
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扫描电镜(SEM)是一种用途广泛的科学仪器,它可以根据用户的需求提供样品不同类型的信息。在这里我们将阐述在扫描电镜(SEM)中产生的不同类型的电子,它们是如何被检测出来的,以及它们可以提供的信息等。

 

电子显微镜是通过电子束来成像的。在图1中,您可以看到电子与物质相互作用所产生的各种信号,所有这些不同类型的信号携带着关于样品的不同的有用信息,由电子显微镜的操作人员根据需要选择接收的信号。

 

例如在透射电镜(TEM)中,正如它的名字所示,检测到的信号是透过样品的电子,会提供样品内部结构的信息。在扫描电镜(SEM)下,通常需要检测两种类型的信号:背散射电子(BSE)和二次电子(SE)。

图1:电子与物质相互作用区域,产生不同类型的信号

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