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有机颗粒样品扫描电镜分析

 发布时间:2016/6/16 点击量:1562
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详细介绍:

扫描电镜使用技巧 Get,有机颗粒样品分析有妙招

 

飞纳台式扫描电镜颗粒统计分析测量系统(Phenom Particle Metric),简称颗粒系统,由荷兰 Phenom-World 公司发布于 2013 年 11 月。颗粒系统通过颗粒与背景衬度的差异对颗粒进行图像识别,在获取 SEM 图像的同时可以获取所有颗粒的形貌数据,例如直径、等效面积、等效体积、圆度等。并且可以将这些数据进行统计。颗粒探测范围:100 nm - 0.1 mm,颗粒探测速度高达 1000 颗/分。

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图 1. Phenom Particle Metric 配置图

 

在实际操作过程中,颗粒与背景元素差异大的颗粒可以很好的识别,但由于图像识别技术局限性,如颗粒与背景元素差异较小,例如有机颗粒,则软件难以进行有效识别,在这种情况下,我们可以采用喷金的办法人为创造出黑色颗粒边界,从而增加软件识别的准确性。

 

粘在导电胶表面的颗粒与导电胶之间形成空隙区,如图 2 右上所示,在喷金过程中,此孔隙区无法被金覆盖。喷金完成之后,结构示意图如图 3 所示。此时在 SEM 视图下,可以清晰看到颗粒边缘的黑色边界,图 4 为颗粒在喷金后阴影边界与颗粒识别案例。识别结果证明适当喷金有利于提升颗粒系统识别的准确性。而喷金多少呢?我们通过实践总结规律得出,喷金厚度为颗粒尺寸 5 ~ 10% 范围内,可以有效增强颗粒系统识别的准确性。

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图 2. 颗粒样品喷金过程示意图

 

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图 3. 颗粒样品喷金结果示意图

 

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图 4. 喷金后阴影边界与颗粒识别案例

 

在拍照过程中,应注意调节图像的亮度/对比度,如亮度对比度都较低,则容易造成软件识别率下降,如图 5 所示。因此,

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