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激光共聚焦显微镜和扫描电镜的区别

 发布时间:2016-06-06 点击量:4462
激光共聚焦显微镜和扫描电镜的区别
激光共聚焦显微镜和扫描电镜都是点源逐点扫描成像,通过控制扫描驱动范围,调节放大倍数。激光共聚焦显微镜是通过激光扫描的方式工作,可以获得三维图像。扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的,只能得到二维图像,不能得到三维图像。
1、极限分辨率不同(放大信号源不同)
激光共聚焦:极限分辨率 150nm
扫描电镜:20nm~0.8nm
2、扫描驱动方式不同
激光共聚焦:激光转镜控制激光扫描范围和扫描速度
扫描电镜:电磁线圈控制电子束扫描范围和扫描速度
3、立体成像不同
激光共聚焦:通过纳米精度步进电机驱动样品在Z轴方向逐层成像,软件将设定的各层图像合成清晰三维立体图像
扫描电镜: 单帧图像具有很大景深,属于二维图像
4、应用范围不同
激光共聚焦:几倍~ 几千倍
扫描电镜 :几倍~几十万倍
5、工作环境不同
激光共聚焦:可在大气环境中测试样品
扫描电镜:在高真空环境下测试样品

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