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自动拼图软件(AIM)在SEM大景深样品拍摄中的应用

 发布时间:2016-05-13 点击量:4685

自动拼图软件(AIM)在SEM大景深样品拍摄中的应用

 

1 自动拼图软件界面

 

自动拼图(Automated Image Mapping)软件(图1)选件是飞纳电镜的又一功能强大的实用软件。其主要优势总结如下:

  • 大范围内自动收集多张图片
  • 生成大面积视野的图片
  • 自动生成高分辨率、高清晰度大图
  • 操作简单,选择区域然后扫描即完成

 

以下举例说明其各个优势及其应用场合:

  • 大范围多张图片的收集对于ParticleMetric颗粒系统、PoroMetric 孔洞系统的作用

 

下图2(a) 是颗粒样品的AIM拼图结果,这张图的分辨率达到了9631×6683,占用空间达到了31.8Mb,采用70张图拼成,单张图片的效果见图2(b)。此图只需要选好区域之后,软件自动生成即可。颗粒系统和孔洞系统软件可以把 AIM 的结果全部导入,一次zui多自动处理1000张图片,统计颗粒或孔洞的的直径、圆度等数据,自动生成统计报告。

(a)

(b)

2 (a) 自动拼图软件结果 (b)拼图中捕捉到的单张图片

 

  • 大面积视野的图片对于寻找目标特征点的意义

 

3 寻找大视野范围的特征物

 

3所示为珊瑚砂样品,为了寻找其中的特征物,我们对可能存在的局部进行了自动拼图,完成后结果一目了然,即可轻易地辨认其中的海洋生物化石。同样的功能也可以应用在杂质的寻找方面,公司的产品质控部门往往需要找到杂质的位置,而微观的杂质寻找需要耗费大量的人力,有了AIM软件,便不需要借助光学显微镜数小时的寻找,只需选择目标区域,软件自动找寻。

 

  • 高分辨高清大图对于大景深样品拍照的作用

 

(a)

(b)

4 金属断口样品的AIM拼图结果 (a) AIM拼图界面 (b) 局部的单图

 

4 中显示了AIM在断口类大景深样品中的应用,由于AIM的跟踪对焦功能和跟踪自动亮度对比度功能,可以实现样品在凹凸起伏较大的情况下,不同的局部不同的焦距,zui终使样品在大图中的各个位置均非常清楚。这样就有效避免了电镜拍摄时大景深模式带来的清晰度损失,以及景深过大导致的局部清晰、局部模糊的情况。

5 自动拼图软件工作原理示意图

 

5 AIM自动拼图软件跟踪对焦(Follow Focus)的工作原理示意图,可以清晰地看到,当样品表面高低起伏时,BSD探头可以根据焦距的变化自动优化焦距和亮度对比度,从位置1移动到位置2的过程中,不需要人为干预,自动给出*清晰度和显示效果的图片。在每张小图都可以获得*分辨率的前提下,zui终拼出来的大图效果才会是、*、高清大图。

 

zui后,不得不提的是,作为一款如此精品的软件,价格却是0元,完全免费!只要配备了prosuite软件套装里的其他任何一款软件,本软件免费赠送。

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