AI扫描电镜自动成像工作流：飞纳电镜 Phenom SEM AI Agent 执行机制

飞纳电镜 Phenom SEM AI Agent 面向样品导航、自动对焦、多倍率图像采集、参数记录和报告整理等常规扫描电镜任务。系统通过 Phenom 编程接口 PPI 连接仪器，在不改动硬件的前提下，将自然语言需求转换为受控任务流程。

其工程结构并非由语言模型直接发送任意仪器指令，而是由语言模型理解任务、选择流程，再由命令层根据仪器状态完成保护检查、指令执行、状态回读和日志记录。

自动成像工作流

任务执行包含四个环节：用户用文字或语音描述检测目标；AI智能体调用准备、导航、对焦和采集流程；命令层在发送指令前核验仪器状态，并通过PPI执行；系统检查图像，保存原图、参数与带时间戳的执行记录。

SEM AI Agent 工作流程及导航、对焦与倍率采集示例

可执行的常规成像任务

样品导航任务可识别轮廓、完成编号并给出载物台坐标；自动对焦示例覆盖大幅离焦、低衬度样品；倍率序列任务可按照设定倍率采集图像，并保存HDR、JPEG及对应参数记录。

资料展示的独立示例中，10 kV、SED条件下可从500倍至10000倍保存5张图像；另一页记录该5张图像采集用时为18秒。资料明确指出，导航、对焦和倍率采集为独立示例，不属于同一次任务的连续计时。实际执行时间需结合样品状态和采集设置验证。

人工操作与自动执行的差异

传统流程通常需要人工核对样品位置、切换倍率、调节对比度、保存命名、记录参数并整理报告。SEM AI Agent将这些步骤组织为连续任务，并自动生成操作日志、逐图参数和结果文件。

资料中的人工耗时属于典型估算，AI耗时属于对应条件下的实测。抽真空和唤醒速度仍由硬件决定，自动化主要减少重复点击、控制台值守和手工记录。

常规任务的人工操作估算与 SEM AI Agent 实测示例

PPI执行与仪器保护

命令层包含17条受控命令和8套流程，并结合权限控制、日志追踪和安全条件检查。系统保留仪器原有的舱门、真空与载物台保护；工作距离等参数在写入前核验允许范围，写入后回读确认。

系统还负责控制权接手与交接。其他用户占用仪器时不发送操作指令，任务结束后归还控制权并确认释放状态。执行结果通过状态回读和操作日志保留，便于核验与追溯。

SEM AI Agent 的分层执行结构与保护机制

建议的现场验证项目

评估AI自动成像时，建议使用本单位的常规样品和困难样品，分别验证样品识别、位置对应、自动对焦、多倍率采集、图像质量、参数一致性、原图保存、日志记录和报告整理。对于共享平台，还应检查多人使用时的控制权交接与任务记录。

飞纳电镜 Phenom SEM AI Agent 更适合步骤明确、重复频率较高、需要完整记录的成像任务。疑难样品判断、方法选择和结果解释仍由专业人员负责。