飞纳台式扫描电镜采用高亮度六硼化铈(CeB6)电子源,具备快速成像、操作简便、维护成本低等优势。
1.电子束产生:电子枪发射出高能量的电子束,这是整个观察过程的起点。传统扫描电镜多使用钨灯丝作为电子源,而飞纳台式扫描电镜采用高亮度六硼化铈(CeB6)电子源,这种电子源具有更高的亮度和稳定性,能够提供更优质的电子束。
2.电子束聚焦与扫描:产生的电子束在电磁透镜系统的作用下被准确聚焦成细小的光斑,并按照一定的规律在样品表面进行扫描。通过控制电磁透镜的电流强度,可以灵活调整焦距和放大倍数,从而适应不同样品的观察需求。
3.信号探测:当电子束与样品相互作用时,会激发样品产生多种物理信号,如二次电子、背散射电子等。配备的高灵敏度探测器,能够准确捕捉这些从样品表面逸出的信号。
4.图像构建:探测器将收集到的信号转化为电信号,经过复杂的处理后生成清晰、准确的图像。计算机系统对这些图像数据进行分析和处理,呈现出样品表面的微观形貌和结构信息。
飞纳台式扫描电镜的测定步骤:
1.样品制备
-确保样品干燥、清洁,避免油污或灰尘污染。非导电样品需进行喷金或喷碳处理以提高导电性。
-将样品固定在导电胶上,用镊子轻压使其牢固粘附,并用高压气体吹扫表面。
-调节样品杯高度,使样品面低于样品杯边缘约3mm(旋转高度调节环钮6个刻度),避免进样时碰撞设备。
2.仪器准备
-开机预热,启动真空系统,确保样品室达到所需真空度。
-设置初始参数:加速电压通常为10kV,束流调至“标准”模式,背散射成像模式。
3.观察与成像
-通过低倍率快速定位目标区域,逐步切换至高倍率观察。
-分阶段聚焦:先1000-3000倍粗聚焦,再2万倍精细调焦(点击F图标),降至目标倍数(如5000或1万倍)自动或手动调节对比度/亮度。
-拍照保存至U盘,记录放大倍数及顺序以便后期整理。
4.结束操作
-退出真空状态,取出样品杯时需平放桌面,用镊子取下载物台,避免碰撞电极片。
-关闭电源并设置为待机模式,样品杯密封保存于干燥袋中。