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扫描电子显微镜对样品有哪些要求?

 更新时间:2025-06-30 点击量:35

扫描电子显微镜通过束来扫描样品的表面并生成高分辨率的图像。因为该图像具有很高的价值,所以一定要严格按照要求进行操作。为了确保能够得到清晰、准确的显微图像,在使用要合理处理样品。

优势:

1、高分辨率与宽放大倍数:

分辨率:常规SEM 1-10纳米,场发射SEM 0.4-2纳米。

放大倍数:10倍至1,000,000倍连续可调,覆盖宏观到纳米尺度。

2、大景深与立体成像:景深比光学显微镜高数百倍,适合粗糙表面三维成像。

3、多功能分析:结合EDSEBSD等附件,可同步分析形貌、成分、晶体结构。

4、非破坏性观察:无需超薄切片,可直接观察大块样品。

对样品的要求有:

1、不会被电子束分解

2、在电子束扫描下热稳定性要好

3、能提供导电和导热通道

4、大小与厚度要适于样品台的安装

5、观察面应该清洁,无污染物

6、进行微区成分分析的表面应平整

7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响

使用过程中应避免样品污染电子枪或探测器,操作时佩戴手套。遵守实验室安全规程,避免长时间暴露于X射线。先降灯丝电流和高压,再关闭真空系统,然后断电。

扫描电子显微镜具有高分辨率、广泛的应用领域和不断发展的趋势。它在材料科学、生命科学和纳米技术等领域发挥着重要作用,为科学研究和工业应用提供了强大的工具。

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