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台式扫描电镜飞纳的发展史

 发布时间:2022-10-14 点击量:365
 台式扫描电镜飞纳的发展史
1948
飞纳电镜源自飞利浦电子光学部分,1948 年,D 一台飞利浦实验室研发的透射电镜 (400kV!)。
1949
飞纳电镜源自飞利浦电子光学部门,1949 年,D 一台商业化的电镜 EM100 在 PHILIPS 实验室制造完成。
 
1997 年美国 FEI 公司收购飞利浦电镜部; FEI 和飞利浦电子光学宣布合并其业务,FEI 公司在扫描电镜行业处于**地位,其产品代表X进的电镜技术。
2006 FEI 成立 Phenom World 公司,发布D 一台台式扫描电子显微镜飞纳 Phenom G1,放大倍数 10,000 倍,使用高亮度 CeB6 灯丝;
2012 年 3 月,Karel.Mast 教授带领原飞利浦电镜部门精英研发出S台电镜能谱一体机,开创电镜能谱设计新理念,两年销量 790 台;同时推出粗糙度测量等功能性软件;
2013 年 Phenom-World 公司推出第 3 代飞纳台式扫描电镜产品,第 3 代飞纳台式扫描电镜主要优势在于分辨率由一代的 30 nm 提高到了 17 nm,放大倍数由 20,000 X 提高到 100,000 X,台式扫描电镜分辨能力从此可与大型钨灯丝电镜媲美, 结合飞纳台式扫描电镜 15 秒快速抽真空,不导电样品无需喷金等;
2014 年 9 月,Phenom-World 公司共计推出 4 代产品,其中飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统S 次将能谱和电镜集成在一起,通过一个软硬件系统控制,将能谱的操作难度显著降低,飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 开创了电镜能谱领域的新概念,两年时间内增加了 1100 名用户。
2015 年 3 月 22 日,Phenom World 公司推出第 5 代产品,分辨率达到 14 纳米,放大倍数 13 万倍;同年,PW 推出了世界S 台荧光电镜一体机 Delphi,将光电关联电镜技术发展成为台式设计;
2019 年,飞纳台式场发射扫描电镜横空出世,在同样体积的前提下将分辨率提升到了 2 nm,同时标配了背散射以及能谱探头(选配二次电子探头)。
 
那么我们不禁会问,提升分辨率的好处显而易见,那么将扫描电镜做到如此小的尺寸能够带来哪些好处呢?
 
节省空间,降低实验室成本
落地式电镜一般都需要单独的房间安置,面积基本上为 20 平米起步,而且需要安装在震动较小的楼层,如果环境震动超标还需要购置防震台。相比之下,飞纳台式电镜的要求就没有那么严苛了,只需要一个不足 1 平米的桌子,并且不需要购买防震台。因此,台式电镜可以节约大量的空间成本。
 
管理轻松,降低人力成本
落地式电镜往往需要专业人员管理,平均两周更换一根灯丝,同时需要清理阳极、光阑等配件,平时还需要购买惰性气体和液氮,每年还需定期维护保养。
 
而飞纳台式扫描电镜就非常任性了,从设计上就摒除了上述繁杂的操作,它不需要专业人员管理,不需要液氮和惰性气体,不需要清理阳极和光阑,只需2-3年(视具体情况而定)更换一次灯丝以及做一次维护即可。

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