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离子研磨应用技术研究

 发布时间:2021-11-06 点击量:687
  对于一般的内部结构观察,使用传统的机械研磨即可以达到需要的分析效果;但是对于某些精度要求较高或是机械研磨外部应力会产生影响的情况下,使用高精度、无应力的研磨 - 离子研磨就很有必要。
  离子研磨实现的过程中,首先通过一个高压电极来对氩气进行电离,从而形成氩离子;继而再通过一个高压电场来对氩离子实施加速,经过带有偏转电场的离子枪头,使其形成离子束对需要研磨的基材样品进行轰击,将样品表面物质以原子的形态清除出去,以使得样品达到无应力研磨的效果。
  我们的离子研磨抛光仪是通过物理科学技术来加强样品表面特性。使用惰性气体中具有代表性的氩气作为气源,通过加速电压使其电离并撞击样品表面。在控制的范围内,通过这种动量转换的方式,氩气离子去撞击样品表面从而达到无应力损伤的SEM观察样品。
  1.双离子束源
  离子研磨抛光仪1060配有两束离子束,可以同时聚焦在样品表面,这样大大提高了研磨抛光速度。离子束体积小,zui小化了气体的需求量,但却能释放很大的能量。当操作高能量时,即使在低角度的情况下,研磨速度也很快;当操作低能量时,样品表面材料溅射出的同时也不会带来其他杂质。
  2.真空舱体和快速样品传递
  SEM离子研磨抛光仪1060的真空舱体保证了设备操作过程中持续真空,预真空锁使真空舱体与外部环境隔离,保证了样品转移过程中的真空环境。小尺寸的样品舱在后期维护中清理也更加简便。
  3.实时样品观察
  遮板可以阻止溅射的材料干扰样品观察。样品表面上方内置光源用以照明。 体视显微镜-选配 SEM离子研磨抛光仪可以通过一台体视显微镜做样品观察。由于体视显微镜的工作距离较大,在研磨的时候可以直接在原处观察; 高倍率的显微成像系统-选配 SEM离子研磨切割仪可以配置一台高倍率的显微镜、数码相机以及视频显示器,通过抓取图像并将图像投影到显示器上,此种方式是制备特定位置样品的一个理想方式。 当使用高倍显微成像系统时,样品将被传送到预真空锁的真空环境中拍照,然后再返回原位置继续研磨抛光操作。
  4.可电脑编程控制样品移动
  离子研磨抛光仪1060具备样品高度自动感应功能,目前业界仅我们的1060具备此功能。这也方便了操作者可以通过电脑编程来对样品进行重复定位、调节旋转速度和往复摆动角度。

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