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台式扫描电子显微镜与电子通道衬度的那些事儿

 发布时间:2021-07-26 点击量:754
  台式扫描电子显微镜使用发生汇聚的电子束,轰击样品,发生各种信号,例如二次电子,背散射电子,吸收电子,X射线等。不同的信号携带有不同的衬度。常见的衬度有形貌衬度和成分衬度。还有一种在晶体资料中常见的衬度就是电子通道衬度,即ECC(Electron Channeling Contrast)衬度。它可以反映不同取向的晶粒以及一些缺陷。
 
  台式扫描电子显微镜使用中关于晶体的资料,二次电子和背散射电子的产额与初始电子束与晶面的相对取向有关。晶体取向的不同会造成初始电子被试样原子散射的机率发生差异,从而影响二次电子和背散射电子的产额。两种不同取向晶粒,关于A晶粒,电子进入该晶粒时,与原子核发生磕碰的几率减小,大概率会直接通过往样品更深处运动,磕碰减小,往样品外散射的信号就会减小,图画中体现的衬度就会低,比较暗;相反,关于B晶粒,取向发生改变,电子进入该晶粒中,磕碰几率提高,发生的信号量就会增加,图画中体现的衬度就会较高,比较亮。因而,晶粒取向不同,对发生的信号量就会造成影响,通过将这些信号搜集起来进行处理就可以对不同的取向进行表征。
 
  在了解了通道衬度是如何构成的之后,要如安在样品上观察到这种衬度呢?
 
  首先,需求是晶体资料,外表具有良好的晶体结构,因而,关于样品制备的要求相关于常规扫描样品要愈加严格。台式扫描电子显微镜需求对样品进行抛光处理,取得平坦的外表。一起在机械抛光完成之后外表仍然存在应力层,为了去掉应力层,可以选用振荡抛光,硅胶抛光,电解抛光,或许氩离子抛光,关于部分资料,也可以直接用相应的腐蚀液稍微腐蚀一下,也能很好的去除应力层。每种制样办法都有各自的优缺点,振荡抛光和选用硅胶抛光的办法,制备的外表很平坦,可是往往需求较长的时刻才干很好的去除应力层;电解抛光需求样品导电,抛光参数(包含抛光的时刻电压电流,电解液的挑选等)需求摸索,抛光的样品也不适合很大,含有夹杂物或许多相的资料也不适合用电解抛光;氩离子抛光主要有两种,一种是平面抛光,一种是截面抛光,平面抛光可以在样品外表接近中心的方位进行,可是往往会带来非常显着的外表浮凸,引入形貌衬度,截面抛光虽然可以取得非常平坦的面,可是只能在边缘处进行,区域比较小。因而,依据样品挑选适宜的制样办法,终究取得一个平坦的无应力层的外表。

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