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高分辨率台式扫描电镜可增加放大倍率

 发布时间:2020-08-25 点击量:989
  高分辨率台式扫描电镜是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器,当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞,一些电子被反射出样品表面,而其余的电子则渗入样品中,逐渐失去其动能,停止运动,并被样品吸收。
  扫描电镜视频放大器放大的二次电子信号是一个交流信号,用这个交流信号调制显像管栅极电,其结果在显像管荧光屏上呈现的是一幅亮暗程度不同的,并反映样品表面起伏程度(形貌)的二次电子像。
  扫描方式分点扫描、线扫描、面扫描和Y调制扫描。扫描电镜图像的放大倍率是通过改变电子束偏转角度来调节的,放大倍数等于CRT面积与电子束在样品上扫描的面积之比,减小样品上扫描的面积,就可增加放大倍率,电子束在样品上扫描的面积,由扫描线圈产生的激励磁场控制,可以连续调节,所以扫描电镜的放大倍率是可以连续调节的。
  为保证高分辨率台式扫描电镜电子光学系统的正常工作,扫描电镜采用一个机械泵和一个油扩散泵,真空系统的工作自动进行并有保护电路。若达不到高真空,高压指示灯将不亮,高压加不上,扩散泵冷却水断路或水压不足,全机电源自动切断,扩散泵温度过高也自动断电。电子枪灯丝更换有单独的电子枪室与主机镜筒隔离,更换灯丝后几分钟内电子枪即可达到高真空。

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