飞纳台式电镜能谱一体机的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子，并通过抽气管道与镜筒相联接，中间镜主要通过对励磁电流的调节，仅以电子束尽量聚焦在样本的一小块地方，然后一行一行地扫描样本，入射的电子导致样本表面被激发出次级电子。
显微镜观察的是这些每个点散射出来的电子，放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子、紫外、红外光区域产生的电磁辐射，通过放大后调制显像管的电子束强度，从而改变显像管荧光屏上的亮度，组成样本的原子的原子量，它的光路与光学显微镜相仿，可以直接获得一个样本的投影。
借助该系统，既可观察样品的表面形貌，又可分析其元素组分，可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。
飞纳台式电镜能谱一体机是全数字化控制，专业电子显微成像分析仪器，配置有三级电磁透镜，大变焦范围，长工作距离，多孔径光阑，轻松获得材料表面高分辨、高质量的微观形貌导航图，能够对微米亚微米范围化学元素组成进行快速鉴定，即使未经专业培训，也能够得心应手。
硬件特征：
1、全数字控制，专业级电子显微成像仪器；
2、标配SE探测器，选配BSE探测器 ；
3、可选样品仓低真空环境功能，直接测试非导电样品；
4、XYZ三轴大行程自动样品台，可选RT轴自动控制；
5、多重弹簧橡胶隔振减振系统；
6、主机设计紧凑，系统高度集成，良好散热及电磁兼容性能；
7、轻质合金外壳，数字加工成型，具有良好电磁屏蔽功能。
