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台式扫描电子显微镜实现自动控制和运行

 发布时间:2019-05-16 点击量:1023
    台式扫描电子显微镜实现自动控制和运行  
    台式扫描电子显微镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分,镜体部分由电子光学系统(包括电子枪、扫描线圈等)、试样室、检测器以及真空抽气系统组成。
   台式扫描电子显微镜在加速电压的作用下(2~30kV),经过三个电磁透镜(或两个电磁透镜),汇聚成一个细小到5nm的电子探针,在末级透镜上部扫描线圈的作用下,使电子探针在试样表面做光栅状扫描(光栅线条数目取决于行扫描和帧扫描速度)。由于高能电子与物质的相互作用,结果在试样上产生各种信息如二次电子、背反射电子、俄歇电子、X射线、阴极发光、吸收电子和透射电子等。
    因为从试样中所得到各种信息的强度和分布各自同试样表面形貌、成分、晶体取向、以及表面状态的一些物理性质(如电性质、磁性质等)等因素有关,因此,台式扫描电子显微镜通过接收和处理这些信息,就可以获得表征试样形貌的扫描电子像,或进行晶体学分析或成分分析。
 在台式扫描电子显微镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化,焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。台式扫描电子显微镜显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析,生成与样品形貌相对应的,元素面分布图或者进行定点化学成分定性定量分析,相鉴定。
    台式扫描电子显微镜利用阴极荧光,基于某些痕量元素(如过渡金属元素,稀土元素等)受电子束激发的光强反差,生成的痕量元素分布图像,利用样品电流,基于平均原子序数反差,生成的化学成分相的分布图像,该图像与背散射电子图像亮暗相反。台式扫描电子显微镜利用俄歇电子,对样品物质表面1nm表层进行化学元素分布的定性定理分析。
 

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