扫描电子显微镜根据不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息；对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。扫描电子显微镜对于固体材料的研究应用非常广泛，没有任何一种仪器能够和其相提并论。对于固体材料的全面特征的描述，扫描电子显微镜是至关重要的。

　　随着电子技术和计算机技术的发展，不仅实现了数字化图像，而且电镜所有的功能都已经实现了数字化控制。现代扫描电镜电器控制系统高度集成化，扫描电镜结构越来越紧凑，自动化功能越来越高，极大改善了人机操作环境。目前扫描电子显微镜的zui主要组合分析功能有:X射线显微分析系统（即能谱仪,EDS），主要用于元素的定性和定量分析，并可分析样品微区的化学成分等信息；电子背散射系统（即结晶学分析系统），主要用于晶体和矿物的研究。